蓝宝石晶圆雷射印码机-新杰科技股份有限公司

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◆蓝宝石晶圆雷射印码机

项目内容	规格
供料治具	Wafer cassette * 2 set 2” 、4” 、6”可共用
Wafer size	2” 、4” 、6”
搬送手臂	4轴控制(X,Y,Z,θ)
Wafer进出料方式	供料: 由下而上
Wafer进出料方式	收料: 由上而下
打印定位	CCD 检测Wafer X,Y,θ偏移量并自动补正
安全防范	1.机台加装UPS,以防工作中之断电.
安全防范	2.加装真空闭锁装置,以防工作之断气
Cycle time	15 sec/片(2”单面为准)
Mark 方式	可选择正面或反面打印
资料统计	可将打印资料汇整成一档案制程资料统计
雷射打印头	Keyence ML-Z9550,30W, CO2 Laser
设施需求	电源单相220V ; 5 kg/cm2 空压
外观尺寸	1850 W * 2400 H * 1600 D (mm)