藍寶石晶圓雷射印碼機-新杰科技股份有限公司

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LED晶圓製程設備

◆藍寶石晶圓雷射印碼機

項目內容	規格
供料治具	Wafer cassette * 2 set 2” 、4” 、6”可共用
Wafer size	2” 、4” 、6”
搬送手臂	4軸控制(X,Y,Z,θ)
Wafer進出料方式	供料: 由下而上
Wafer進出料方式	收料: 由上而下
打印定位	CCD 檢測Wafer X,Y,θ偏移量並自動補正
安全防範	1.機台加裝UPS,以防工作中之斷電.
安全防範	2.加裝真空閉鎖裝置,以防工作之斷氣
Cycle time	15 sec/片(2”單面為準)
Mark 方式	可選擇正面或反面打印
資料統計	可將打印資料彙整成一檔案製程資料統計
雷射打印頭	Keyence ML-Z9550,30W, CO2 Laser
設施需求	電源單相220V ; 5 kg/cm2 空壓
外觀尺寸	1850 W * 2400 H * 1600 D (mm)